[发明专利]大型真空镀膜设备

说明书

技术领域

本发明属于真空镀膜领域，尤其涉及一种大型真空镀膜设备。 

背景技术

大型真空镀膜设备的容积大(通常达几个立方米)，镀膜周期短(通常约30分钟)，本底真空高(通常为10^-3～10^-2pa)，加上镀膜室内壁和待镀件(尤其是塑料待镀件)会放出大量气体(其中，可凝性气体通常占90％)，因此，该设备通常需配置1万～几万L/s的大型高真空泵。传统真空泵中，能满足上述要求的高真空泵只有油扩散泵和低温泵。然而，前者能耗高、油蒸汽污染严重，影响产品质量；后者价格昂贵，加上吸附面(由-258℃的活性碳组成)极易污染中毒，失去抽气功能，维护费用高。 

除此之外，这两种泵只能在低于1Pa的压强下工作，粗抽泵只能将大型镀膜室抽至几十Pa，因此，镀膜设备还需配置能耗高，油蒸汽污染大的罗茨泵。 

因此，传统大型真空镀膜设备通常采用油扩散泵和罗茨泵机组抽气，导致生产成本高、产品质量差等缺点，成为目前真空镀膜产业中普遍存在的一大难题。 

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的上述不足，提供一种能耗低、油蒸汽污染小的大型真空镀膜设备。 

本发明是这样实现的，一种大型真空镀膜设备，该大型真空镀膜设备采用卷绕室和镀膜室分开的双室结构，所述卷绕室的一端与牵引分子泵连通，所述牵引分子泵与前级泵连通；所述卷绕室的另一端与粗抽泵连通；所述镀膜室与另一牵引分子泵连通，所述另一牵引分子泵与另一前级泵连通；所述镀膜室的另一端直接与水汽泵连通；所述镀膜室内设有磁控溅射靶。 

具体地，所述卷绕室内设有送料卷筒和收料卷筒，待镀薄膜套设于所述送料卷筒上，然后经过滚轮导向、穿过窄缝，通过所述磁控溅射靶进行镀膜，镀膜完成后再经过滚轮导向、穿过窄缝，由所述收料卷筒收集。 

具体地，所述卷绕室中设有一对辉光放电电极。 

本发明还提供了一种上述的大型真空镀膜设备的抽气工艺，所述粗抽泵将镀膜室中的气压从大气压抽至10²Pa，然后由所述牵引分子泵将镀膜室从10²Pa抽至分子镀膜所需的本底压强，例如10^-3～10^-2Pa。 

与现有技术比较，本发明的优点如下： 

a.本发明节能显著，节省抽气能耗80％； 

b.本发明可大幅度降低粗真空、中真空和高真空的油蒸汽污染； 

c.本发明采用新的抽气工艺，缩短粗抽时间，提高生产效率； 

d.本发明可大幅度提高采用等离子体技术(例如磁控溅射、阴极电弧)增强的镀膜设备的生产效率和产品质量； 

e.本发明的粗抽机组可以供多台镀膜设备共用，节省设备费用和设备的占地空间。 

下面结合实施例附图，对本发明进一步描述。 

附图说明

图1是本发明实施例一提供的大型蒸发镀膜设备的示意图； 

图2是本发明实施例三提供的双室卷绕大型真空镀膜设备的示意图。 

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。 

近几年来，大抽速、大抽气流量的牵引分子泵获得了迅速发展。该牵引分子泵在0.1～几Pa压强范围具有最大抽速，并且能耗很低，仅为扩散泵和罗茨泵的20％左右；此外，该牵引分子泵工作稳定，还能获得无油蒸汽污染的清洁真空。 

水汽泵(吸附温度约-120℃)是最近开始推广应用的低温泵，该泵对水蒸气和其它可凝性气体具有很强的抽气能力，能耗大幅度低于传统的低温泵(吸附温度约-258℃)；此外，该水汽泵还具有运行可靠、维护方便、费用低等优点。 

本发明所提的真空镀膜机，包括镀膜室、精抽泵、前级泵和粗抽泵，所述精抽泵采用牵引分子泵，或者牵引分子泵和水汽泵的并联机组。 

以下结合具体实施例对本发明所进一步说明。 

实施例一、大型单室真空镀膜设备 

本实施例如图1所示，所述镀膜室11的一侧与所述水汽泵12连通，所述水汽泵12通过高真空阀13与所述牵引分子泵14连通，所述牵引分子泵14通过真空阀18与所述前级泵17连通；所述水汽泵12还通过低真空阀15与所述粗抽泵16连通。 

本实施例具有如下优点：