[发明专利]大型真空镀膜设备有效
| 申请号： | 200910107074.4 | 申请日： | 2009-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN101560645A | 公开（公告）日： | 2009-10-21 |
| 发明（设计）人： | 储继国;龚建华 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35;C23C16/54 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518000广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 大型 真空镀膜 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种大型真空镀膜设备，其特征在于：该大型真空镀膜设备采用卷绕室和镀膜室分开的双室结构，所述卷绕室的一端与牵引分子泵连通，所述牵引分子泵与前级泵连通；所述卷绕室的另一端与粗抽泵连通；所述镀膜室与另一牵引分子泵连通，所述另一牵引分子泵与另一前级泵连通；所述镀膜室的另一端直接与水汽泵连通；所述镀膜室内设有磁控溅射靶。
2.根据权利要求1所述的大型真空镀膜设备，其特征在于：所述卷绕室内设有送料卷筒和收料卷筒，待镀薄膜套设于所述送料卷筒上，然后经过滚轮导向、穿过窄缝，通过所述磁控溅射靶进行镀膜，镀膜完成后再经过滚轮导向、穿过窄缝，由所述收料卷筒收集。
3.根据权利要求1所述的大型真空镀膜设备，其特征在于：所述卷绕室中设有一对辉光放电电极。
4.一种如权利要求1～3任一项所述的大型真空镀膜设备的抽气工艺，其特征在于：所述粗抽泵将镀膜室中的气压从大气压抽至102Pa，然后由所述牵引分子泵将镀膜室从102Pa抽至10-3～10-2Pa。
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