[发明专利]具有自锁定功能的外延生产用可控压力顶笔装置无效
| 申请号： | 200910095373.0 | 申请日： | 2009-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN101498035A | 公开（公告）日： | 2009-08-05 |
| 发明（设计）人： | 梁兴勃;张向成;王震;陈华;徐林海;丁海东;彭世煜 | 申请（专利权）人： | 宁波立立电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C30B23/02;C30B35/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 韩介梅 |
| 地址： | 315300浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开的具有自锁定功能的外延生产用压力可控的顶笔装置，包括顶笔头、笔身、滑杆、弹簧、笔杆、预紧螺丝和环形圈，环形圈套在笔杆上构成旋转配合，置于笔杆中的滑杆外壁设有直角楔型“凸起”，环形圈的内壁有簧片，通过簧片与直角楔型“凸起”配合对滑杆起锁定作用。该顶笔装置能够保证操作者对置于基座中的衬底片进行顶压时所施加顶笔的压力一致，消除由于人为因素造成的顶片效果差别，提高外延片的电阻率一致性和厚度均匀性；能够有效避免顶笔装置在离开作用表面时由于顶笔头的复位而产生的表面划伤，提高装取衬底片的效率和成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 锁定 功能 外延 生产 可控 压力 装置 | ||
【主权项】：
1. 具有自锁定功能的外延生产用可控压力顶笔装置，其特征在于包括顶笔头(1)、笔身(2)、滑杆(3)、弹簧(4)、笔杆(5)、预紧螺丝(6)和环形圈(10)，顶笔头(1)紧固在笔身(2)的一端，笔身(2)的另一端设有中心螺纹孔(12)和导向槽(7)，笔杆(5)的顶端设有与导向槽(7)匹配的突出部分，滑杆(3)置于笔杆中，滑杆(3)的一端与笔身(2)的中心螺纹孔(12)螺纹连接，滑杆(3)的另一端具有与笔杆(5)中的环形面(13)配合的凸台，预紧螺丝(6)拧接在筒状笔杆(5)末端的螺纹孔(14)中，弹簧(4)置于笔杆(5)末端的的螺纹孔(14)中，其一端抵住预紧螺丝(6)，另一端抵住滑杆(3)凸台的端面，滑杆(3)外壁设有直角楔型“凸起”(8)，环形圈(10)套在笔杆(5)上，笔杆(5)上有开口，环形圈(10)的内壁与用于锁定滑杆的簧片(9)的一端铰接，簧片(9)的另一端为自由端，伸入笔杆(5)的开口内，环形圈(10)与笔杆(5)构成旋转配合。
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