[发明专利]一种快速热处理炉用的晶片盒定位支撑台无效
| 申请号： | 200910090661.7 | 申请日： | 2009-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN102002759A | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 袁卫华;龙会跃;邱小莎;钟新华;金则军 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;H01L21/687;H01L21/324;H01L21/477 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科技园通州园光机*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶片盒的定位支撑台，涉及快速热处理炉，属于半导体制造领域。该结构包括：一个片盒架、一个拉簧控制的转动钩型连杆，一个固定支架台，一与压簧和压杆连动的微型行程开关。所述的片盒架，用于支撑晶片盒，由螺钉与固定支架台连接；所述的拉簧助力的转动钩型连杆用于钩住固定晶片盒；所述的固定支架台用于整个片盒架的固定，以及将整个片盒架台固定在晶片传输系统中，让机械手取送晶片到晶片盒内的准确位置，晶片盒在定位支撑台上时，下压弹簧压杆，行程开关闭合，检测电路指示灯亮。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 热处理 晶片 定位 支撑 | ||
【主权项】：
一种晶片盒的定位支撑台，其特征在于：一个片盒架、一个拉簧控制的转动钩型连块，一压簧和压杆与微型行程开关。
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