[发明专利]电极设备和检测方法有效
申请号: | 200910083983.9 | 申请日: | 2009-05-13 |
公开(公告)号: | CN101887194A | 公开(公告)日: | 2010-11-17 |
发明(设计)人: | 李丽;王威 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | G02F1/1343 | 分类号: | G02F1/1343;G02F1/13;G01L9/06;G01N27/20;H01L23/544;H01L21/283 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 刘芳 |
地址: | 100176 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种电极设备和检测方法,该电极设备包括:上部电极、下部电极以及电压检测模块,所述上部电极与所述下部电极相对设置,所述下部电极与所述上部电极相对的表面上设有压敏薄膜,所述电压检测模块根据所述压敏薄膜因承受的压力变化而产生的电阻变化,获取相应的电压变化值,并根据所述电压变化值进行检测处理。该检测方法包括:电压检测模块检测设置在下部电极表面的压敏薄膜因承受的压力变化而产生的电压变化,获取电压变化值,并在所述电压变化值超过预设值时发送报警信号。本发明杜绝了因上部电极发生堵塞而导致的MURA,repeat defect等现象,并能检测出放置在压敏薄膜上的玻璃基板是否存在破损或裂纹,降低了生产风险。 | ||
搜索关键词: | 电极 设备 检测 方法 | ||
【主权项】:
一种电极设备,包括:上部电极、下部电极以及电压检测模块,所述上部电极与所述下部电极相对设置,其特征在于,所述下部电极与所述上部电极相对的表面上设有压敏薄膜,所述电压检测模块根据所述压敏薄膜因承受的压力变化而产生的电阻变化,获取相应的电压变化值,并根据所述电压变化值进行检测处理。
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