[发明专利]一种半导体纳米线音叉式气体浓度传感器及其制备方法无效
| 申请号： | 200910083771.0 | 申请日： | 2009-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN101561381A | 公开（公告）日： | 2009-10-21 |
| 发明（设计）人： | 冯红彬;李景虹;黄瑾 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01N5/00 | 分类号： | G01N5/00;G01D5/02 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 朱 琨 |
| 地址： | 100084北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种半导体纳米线音叉式气体浓度传感器及其制备方法，属于气体浓度检测技术领域，其特征在于，所述气体浓度传感器是由一个去帽后的石英音叉以及粘在所述石英音叉的两个叉头上的单根刚直的SnO2纳米线构成，在此提出了所述气体浓度传感器的制备方法。本发明具有设备简单、稳定性好、可重复使用、灵敏、低能耗、低成本、体积小便于携带等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 纳米 音叉 气体 浓度 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种半导体纳米线音叉式气体浓度传感器，其特征在于，由一个去帽后的石英音叉以及粘在所述石英音叉的两个叉头上单根刚直的SnO2纳米线所构成。
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