[发明专利]用二元蒸发源制备工模具硬质涂层的方法无效
| 申请号： | 200910059221.5 | 申请日： | 2009-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN101570849A | 公开（公告）日： | 2009-11-04 |
| 发明（设计）人： | 赵海波;梁红樱;王辉;冯浩 | 申请（专利权）人： | 四川大学 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06;C23C14/14 |
| 代理公司： | 成都科海专利事务有限责任公司 | 代理人： | 唐丽蓉 |
| 地址： | 610207四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开的用二元蒸发源制备工模具硬质涂层的方法，是先将常规工模具进行清洗后，然后在氩气保护下按以下顺序镀膜后冷却：1)先用电子束加热Ti蒸发源进行镀制，然后再通入氮气一起继续镀制；2)用电子束加热Ti蒸发源，用磁控溅射法溅射Zr，同时通入氮气进行镀制；3)用磁控溅射法溅射Zr，同时通入氮气进行镀制。由于本发明采用了真空离子蒸发镀和磁控溅射离子镀的二元蒸发源技术，因而既避免了现有技术存在的问题，又弥补了单独采用磁控溅射法时反应物质离化率低、涂层绕镀性差的不足，同时也解决了单纯离子蒸发镀法对反应蒸发材料选择范围狭窄的难题，可满足工业化生产要求，并赋予了工模具更好的膜基结合力、更高的硬度、韧性及抗氧化性，大大提高了其使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 二元 蒸发 制备 工模 硬质 涂层 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用二元蒸发源制备工模具硬质涂层的方法，该方法是先直接将待制备的常规工模具产品进行清洗干燥后，置于镀膜室内依次抽真空、加热和等离子清洗，然后按以下顺序镀膜后冷却：1)镀制过渡层Ti+TiN在氩气保护下，用电子束加热，以Ti作为蒸发源进行镀制，然后再通入氮气与Ti一起继续镀制；2)镀制抗冲击耐磨层Ti-Zr-N在氩气保护下，用电子束加热Ti蒸发源，用磁控溅射法溅射Zr，同时通入氮气进行镀制；3)镀制抗氧化层ZrN在氩气保护下，用磁控溅射法溅射Zr，同时通入氮气进行镀制。
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