[发明专利]用二元蒸发源制备工模具硬质涂层的方法无效
| 申请号： | 200910059221.5 | 申请日： | 2009-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN101570849A | 公开（公告）日： | 2009-11-04 |
| 发明（设计）人： | 赵海波;梁红樱;王辉;冯浩 | 申请（专利权）人： | 四川大学 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06;C23C14/14 |
| 代理公司： | 成都科海专利事务有限责任公司 | 代理人： | 唐丽蓉 |
| 地址： | 610207四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 二元 蒸发 制备 工模 硬质 涂层 方法 | ||
1.一种用二元蒸发源制备工模具硬质涂层的方法，该方法是先直接将待制备的常 规工模具进行清洗干燥后，置于镀膜室内依次抽真空、加热和等离子清洗，然后按以 下顺序镀膜后冷却：
1)镀制过渡层Ti+TiN在氩气保护下，用电子束加热，以Ti作为蒸发源进行镀 制，然后再通入氮气与Ti一起继续镀制；
2)镀制抗冲击耐磨层Ti-Zr-N在氩气保护下，用电子束加热Ti蒸发源，用磁 控溅射法溅射Zr，同时通入氮气进行镀制；
3)镀制抗氧化层ZrN在氩气保护下，用磁控溅射法溅射Zr，同时通入氮气进行 镀制，
其中镀制过渡层Ti+TiN的具体工艺条件为：在1.2～1.5×10-1Pa氩气保护下，用 电子束加热，以Ti作为蒸发源，在功率7.5～10KW，基体负偏压100～500V，镀制5～ 10min；通入0.2～0.5×10-1Pa氮气，继续与Ti蒸发源一起在功率7.5～10KW，基体负 偏压100～300V，镀制5～10min，
镀制抗冲击耐磨层Ti-Zr-N的具体工艺条件为：在1.2～1.5×10-1Pa氩气保护下， 用电子束加热Ti蒸发源，功率7.5～10KW，用磁控溅射法溅射Zr，功率1～2KW，同 时通入0.2～0.5×10-1Pa氮气，在基体负偏压100～300V镀制30～50min，
镀制抗氧化层ZrN的具体工艺条件为：在1.2～1.5×10-1Pa氩气保护下，用磁控 溅射法溅射Zr，功率1～3KW，同时通入0.2～0.7×10-1Pa氮气，在基体负偏压70～100V 镀制10～30min。
2.根据权利要求1所述的用二元蒸发源制备工模具硬质涂层的方法，该方法对工 模具镀膜后的冷却时间为60～120min。
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