[发明专利]物体平面微、纳米尺寸的测量装置及其测量方法无效
| 申请号： | 200910056935.0 | 申请日： | 2009-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN101504273A | 公开（公告）日： | 2009-08-12 |
| 发明（设计）人： | 刘一;傅云霞;孙薇斌;李源 | 申请（专利权）人： | 上海市计量测试技术研究院 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B11/14 |
| 代理公司： | 上海浦东良风专利代理有限责任公司 | 代理人： | 陈志良 |
| 地址： | 201203上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明为一种物体平面微、纳米尺寸的测量装置及其测量方法，其特征在于：包括纳米定位测量机、光学显微镜测头和数据处理器，纳米定位测量机箱体内设有三个微型平面镜干涉仪和两个角度传感器来实现计量性的定位和测量，纳米定位测量机箱体一侧垂直支撑其固定支架，固定支架的另一端安装光学显微镜测头，光学显微镜测头底下是被测物体和载物台；被测物体经光学显微镜测头成像后，图像数据传递到数据处理器，数据处理器将接收到的数据进行数值转换获取被测物体在光学显微镜测头视场内的灰度图，在灰度图中设定线宽方向，然后设定沿此方向的区域，计算所述区域内各像素点的灰度算术平均值，并将所述灰度算术平均值经数模转换后发送到纳米测量机。 | ||
| 搜索关键词： | 物体 平面 纳米 尺寸 测量 装置 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
1. 一种物体平面微、纳米尺寸的测量装置，其特征在于：它包括纳米定位测量机、光学显微镜测头和数据处理器，纳米定位测量机箱体内设有三个微型平面镜干涉仪和两个角度传感器，利用微型平面镜干涉仪和角度传感器实现计量性的定位和测量，纳米定位测量机箱体一侧垂直支撑其固定支架，固定支架的另一端安装光学显微镜测头，光学显微镜测头底下是被测物体和载物台，它们同时支承在纳米测量机箱体表面；数据处理器的职能：灰度转换、方向确定、区域灰度算术平均值计算及数模转换，被测物体经光学显微镜测头成像后，图像数据传递到数据处理器，数据处理器将接收到的数据进行数值转换获取被测物体在光学显微镜测头视场内的灰度图，在灰度图中设定线宽方向，然后设定沿此方向的区域，计算所述区域内各像素点的灰度算术平均值，并将所述灰度算术平均值经数模转换后发送到纳米测量机。
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