[发明专利]一种硅悬臂梁传感器及其制备方法和应用无效
| 申请号： | 200910053797.0 | 申请日： | 2009-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN101592578A | 公开（公告）日： | 2009-12-02 |
| 发明（设计）人： | 郑丹;李文琼;袁联群;董瑾;郭强 | 申请（专利权）人： | 上海应用技术学院 |
| 主分类号： | G01N5/00 | 分类号： | G01N5/00;G01G3/16;G01D5/12;G01H9/00;B81B7/02;B81C1/00;B81C5/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 | 代理人： | 吴宝根 |
| 地址： | 200235*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硅悬臂梁传感器及其制备方法和应用，属于微纳米传感器领域。即在悬臂梁的自由末端附近通过选择性阳极氧化方法在氢氟酸溶液内形成多孔硅结构。利用该多孔硅区域增大的比表面结构，在硅孔内壁上自组装大量特异性识别的具有硅氧头基和特异性尾基的线性聚合物或超枝化聚合物敏感分子，可以特异性俘获大量的被检测化学分子以积累较大的被测物俘获质量。本发明的一种硅悬臂梁传感器结构简单、制作方便、容易实现，可以应用在痕量化学气体检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 悬臂梁 传感器 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1、一种硅悬臂梁传感器，包括硅微机械谐振的悬臂梁(5)，扫描探针显微镜(SPM)设备内置的压电驱动器(4)，硅微机械谐振的悬臂梁(5)通过悬臂梁的衬底基座固定在扫描探针显微镜(SPM)设备内置的压电驱动器(谐振驱动装置)(4)上，由谐振驱动装置的振动形成悬臂梁(5)的谐振，其特征在于在硅微机械悬臂梁(5)谐振敏感结构末端选择性集成制作穿通悬臂梁的孔径为100～800nm、孔隙率为20％～60％的多孔硅区域(6)，多孔硅区域(6)上表面自组装及修饰的敏感材料分子(3)，用来特异性吸附被检测分子(8)；扫描探针显微镜(SPM)设备内置的检测入射激光束(1)照射在悬臂梁上表面多孔硅以外区域的金薄膜(7)上，悬臂梁金表面反射光(2)反射至扫描探针显微镜(SPM)设备内置的光偏转检测器上，完成谐振信号的检测。
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