[发明专利]高效率的一维线性等离子体清洗磁控阴极装置

摘要

本发明涉及等离子体磁控阴极技术领域，尤其涉及一种高效率的一维线性等离子体清洗磁控阴极装置，其特征在于：阴极电极接头顶部连接中空管道，阴极电极接头的底部穿过真空腔体的上壁后连接置于真空腔体内的线性金属板阴极的上表面，在真空腔体与线性金属板阴极之间设有一屏蔽罩，屏蔽罩上部还连接一进气管，进气管的顶部置于真空腔体外，真空腔体外的上方设有一电磁线圈装置。本发明与现有技术相比，结构简捷，实现高等离子密度、低功耗、高均匀性的表面清洗处理；通过电磁场的调节可使得阴极所产生的等离子体的密度可调，使其应用灵活；又因阴极采用了一维线性结构，占用空间小，易安装，整个装置具有制造成本低，并可进行大面积的连续清洗工艺。

主权项

1.一种高效率的一维线性等离子体清洗磁控阴极装置，包括阴极、中空管道(4)、阴极电极接头(6)、进气管(7)、绝缘密封件(8)、电磁线圈装置(9)，其特征在于：中空的阴极电极接头(6)顶部连接中空管道(4)，阴极电极接头(6)的底部穿过真空腔体(1)的上壁后连接置于真空腔体(1)内的线性金属板阴极(3)的上表面，在真空腔体(1)与线性金属板阴极(3)之间设有一罩住线性金属板阴极(3)上方、四周及底部边缘的屏蔽罩(5)，屏蔽罩(5)上部还连接一进气管(7)，进气管(7)的顶部置于真空腔体(1)外，真空腔体(1)外的上方设有一电磁线圈装置(9)，所述的线性金属板阴极(3)内部设有流通冷却液的多孔道中空结构。