[发明专利]高效率的一维线性等离子体清洗磁控阴极装置

权利要求书

1.一种高效率的一维线性等离子体清洗磁控阴极装置，包括阴极、 中空管道(4)、阴极电极接头(6)、进气管(7)、绝缘密封件(8)、 电磁线圈装置(9)，其特征在于：中空的阴极电极接头(6)顶部 连接中空管道(4)，阴极电极接头(6)的底部穿过真空腔体(1) 的上壁后连接置于真空腔体(1)内的线性金属板阴极(3)的上 表面，在真空腔体(1)与线性金属板阴极(3)之间设有一罩住 线性金属板阴极(3)上方、四周及底部边缘的屏蔽罩(5)，屏蔽 罩(5)上部还连接一进气管(7)，进气管(7)的顶部置于真空 腔体(1)外，真空腔体(1)外的上方设有一电磁线圈装置(9)， 所述的线性金属板阴极(3)内部设有流通冷却液的多孔道中空结 构。

2.根据权利要求1所述的一种高效率的一维线性等离子体清洗磁控 阴极装置，其特征在于：在阴极电极接头(6)外套设有绝缘密封 件(8)。

3.根据权利要求1所述的一种高效率的一维线性等离子体清洗磁控 阴极装置，其特征在于：所述的线性金属板阴极(3)的宽度为 10-100mm，长度为100-3000mm。

4.根据权利要求1所述的一种高效率的一维线性等离子体清洗磁控 阴极装置，其特征在于：所述的电磁线圈装置(9)的磁场强度的 调节范围为0-500高斯，通过磁场强度的调节来调节等离子体密 度的范围为10¹⁴-10¹⁸m^-3。

5.根据权利要求1所述的一种高效率的一维线性等离子体清洗磁控 阴极装置，其特征在于：所述的屏蔽罩(5)与线性金属板阴极(3) 的间距≤2mm。