[发明专利]透射电子显微镜检测样片的制备方法无效
| 申请号： | 200910045244.0 | 申请日： | 2009-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN101776543A | 公开（公告）日： | 2010-07-14 |
| 发明（设计）人： | 于会生;胡建强;赵燕丽;芮志贤;李明 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供TEM检测样片的制备方法，以提高TEM检测样片的质量，进而减小TEM检测的误差。该方法包括：提供初始透射电子显微镜检测样片；在该透射电子显微镜检测样片上沉积阻碍层；在阻碍层上沉积电子束辅助层；以及在电子束辅助层上沉积离子束辅助层。 | ||
| 搜索关键词： | 透射 电子显微镜 检测 样片 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种透射电子显微镜检测样片的制备方法，其特征在于，包括：提供初始透射电子显微镜检测样片；在该初始透射电子显微镜检测样片上沉积阻碍层；在阻碍层上沉积电子束辅助层；以及在电子束辅助层上沉积离子束辅助层。
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