[发明专利]一种利用高温气-固反应制备高纯度硅的方法有效
| 申请号： | 200910036965.5 | 申请日： | 2009-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN101481111A | 公开（公告）日： | 2009-07-15 |
| 发明（设计）人： | 黄新明;张永欣;邝亚镭;郭宽新 | 申请（专利权）人： | 晶海洋半导体材料（东海）有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 | 代理人： | 李海波 |
| 地址： | 222300江苏省连*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用高温气-固反应制备高纯度硅的方法，包括以下步骤：(1)取低纯硅进行破碎处理，然后进行筛分；(2)将破碎好的硅料放入高温固相反应炉中，抽真空到1.0×10-1～1.0×10-4Pa以除去炉内大部分的空气，接着用惰性气体对炉内进行置换以除去炉内空气，然后将硅料升到800℃～1412℃，再充入活性气体，进行气-固反应；(3)将步骤(2)处理后的硅料进行清洗，即得高纯硅产品。本发明方法采用气-固反应制备高纯度硅，生产效率高，设备投资少，能耗低，产能大，对环境影响比较小，成本低，产品纯度高，能一步到位的制备出太阳能电池行业用高纯硅。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 高温 反应 制备 纯度 方法 | ||
【主权项】：
1、一种利用高温气-固反应制备高纯度硅的方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)取低纯硅进行破碎处理，然后进行筛分；(2)将破碎好的硅料放入高温固相反应炉中，抽真空到1.0×10-1～1.0×10-4Pa以除去炉内大部分的空气，接着用惰性气体对炉内进行置换以除去炉内空气，然后将硅料升到800℃～1412℃，再充入活性气体，进行气-固反应；(3)将步骤(2)处理后的硅料进行清洗，即得高纯硅产品。
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