[发明专利]用于高温、窄缝条件下金属间隙、缺陷检测的涡流传感器无效
| 申请号： | 200910033649.2 | 申请日： | 2009-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN101929833A | 公开（公告）日： | 2010-12-29 |
| 发明（设计）人： | 郑晓虎;刘远伟 | 申请（专利权）人： | 淮阴工学院 |
| 主分类号： | G01B7/14 | 分类号： | G01B7/14;G01N27/90;G01H11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 223003*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明的用于窄缝、高温条件下的电涡流传感器，属于检测技术领域。该方法包括以下步骤：(1)采用UV-LIGA(紫外光刻电铸)技术制作了微米尺度平面线圈1；(2)采用电铸制造工艺制作了镍铁合金铁芯3；(3)提出了两层微平面线圈与磁芯相叠加的电涡流传感器结构。本发明具有结构简单，应用灵活，能实现窄缝、高温条件下金属材料间隙、缺陷的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 高温 条件下 金属 间隙 缺陷 检测 涡流 传感器 | ||
【主权项】：
一种用于高温、窄缝条件下金属间隙、缺陷检测的涡流传感器，其特征包括：(1)、采用UV LIGA(紫外光刻电铸)技术制作了微米尺度平面线圈1；(2)、采用电铸制造工艺制作了镍铁合金铁芯3；(3)、提出了两层微平面线圈与磁芯相叠加的电涡流传感器结构。
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