[发明专利]一种化学机械磨削液制备方法

摘要

一种化学机械磨削液制备方法，属于软脆功能晶体磨削抛光加工技术领域，特别涉及II-VI化合物软脆功能晶体磨削抛光加工方法。其特征是化学机械磨削液不含任何游离磨料，表面分散剂、氧化剂、活性剂，只是由溴、去离子水或蒸馏水、硝酸、有机酸的一种、有机醇的一种、无机酸的一种组成。溴与有机醇的体积百分比为1-5％，硝酸∶无机酸∶有机酸体积百分比为0.5-1∶3-5∶10-20，用去离子水或者蒸馏水稀释至pH值为2.0-3.2之间即可配制成化学机械磨削液。本磨削液采用了化学腐蚀与化学反应两种方式去除材料，具有较高的材料去除率，并有效避免了游离磨料的嵌入、划伤、微裂纹、塑性变形等缺陷，达到高效无应力超精密磨削与抛光的效果。

主权项

1. 一种化学机械磨削液制备方法，由去离子水、硝酸、有机酸、无机酸、有机醇、溴组成，采用无游离磨料的化学融解与腐蚀双重材料去除作用，实现高效无应力化学机械磨削，其特征是：(1)由去离子水或蒸馏水、硝酸、有机醇、溴、无机酸、有机酸组成；(2)溴在有机醇类的体积百分含量为1-5％，这种溴—有机醇类在化学机械磨削液中的体积百分含量为1-20％；(3)有机酸∶无机酸∶硝酸的体积百分比为10-20∶3-5∶0.5-1；这种混合酸在化学机械磨削液中的体积百分比为1-10％；(4)溶液的pH值为2.0-3.2，pH值调节剂为去离子水或蒸馏水、硝酸。