[发明专利]一种化学机械磨削液制备方法无效
| 申请号： | 200910010463.5 | 申请日： | 2009-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN101503599A | 公开（公告）日： | 2009-08-12 |
| 发明（设计）人： | 张振宇;周红秀;郭东明;高航;康仁科 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | C09G1/18 | 分类号： | C09G1/18 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 | 代理人： | 侯明远 |
| 地址： | 116024辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械 磨削 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种化学机械磨削液制备方法，由去离子水或蒸馏水、硝酸、有机酸、无机酸、有机醇、溴组成，采用无游离磨料的化学融解与腐蚀双重材料去除作用，实现高效无应力化学机械磨削，其特征是：
(1)由去离子水或蒸馏水、硝酸、有机醇、溴、无机酸、有机酸组成；
(2)溴在有机醇的体积百分含量为1-5％，这种溴-有机醇在化学机械磨削液中的体积百分含量为1-20％；
(3)有机酸∶无机酸∶硝酸的体积百分比为10-20∶3-5∶0.5-1；这种混合酸在化学机械磨削液中的体积百分比为1-10％；
(4)溶液的pH值为2.0-3.2，pH值调节剂为去离子水或蒸馏水、硝酸；
所述的有机醇是指甲醇、乙醇、乙二醇、丙醇中的一种；
所述的无机酸是盐酸、硫酸中的一种；
所述的有机酸是乳酸、醋酸中的一种。
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