[发明专利]旋转式晶圆自动传输装置

摘要

一种旋转型晶圆自动传输装置，它除继承现有技术中的SMIF中的隔离技术提供洁净的微环境的优点外，还能有效地克服无法适用于在制程的狭小空间作复杂动作等缺点，包括机架、上料平台、风箱体和手臂机构，其技术要点是：手臂机构的抓取机构利用组装在下手臂固定座内的大、小带轮组成的传动机构绕轴转动，设置在抓取机构的抓取电机通过蜗轮蜗杆驱动抓取连杆带动夹爪沿抓取滑轨往复移动，抓取机构上的定位机构设置可调定位块。该装置结构设计合理，在制程间传输运行平稳，动作更灵活可靠，拓展了适用范围，能完成晶圆的自动传输，同时能实现晶圆匣随意旋转和180度反向置放，以适应在制程设备的狭小空间内作更复杂动作的自动传输。

主权项

1、一种旋转型晶圆自动输送装置，包括机架，固定在机架上的上料平台，组装在机架上作升降移动的带有扣爪机构的风箱体和作升降、伸展移动的带有抓取机构的手臂机构，其特征在于：所述手臂机构的抓取机构固定在下手臂旋转轴上，所述下手臂旋转轴固定在大带轮上，所述大带轮及通过旋转传动带连接的步进电机驱动的小带轮组装在下手臂固定座内，所述抓取机构的固定板连接在所述下手臂旋转轴上，并利用大、小带轮组成的传动机构驱动所述下手臂旋转轴转动，带动所述抓取机构固定板绕轴线转动，设置在所述抓取机构的抓取电机通过蜗轮蜗杆驱动抓取连杆带动夹爪沿所述抓取机构固定板的抓取滑轨往复移动，所述抓取机构上的定位机构设置可调定位块。