[发明专利]旋转式晶圆自动传输装置

权利要求书

1.一种旋转型晶圆自动输送装置，包括机架，固定在机架上的上料平台，组装在机架上作升降移动的带有扣爪机构的风箱体和作升降、伸展移动的带有抓取机构的手臂机构，其特征在于：所述手臂机构的抓取机构固定在下手臂旋转轴上，所述下手臂旋转轴固定在大带轮上，所述大带轮及通过旋转传动带连接的步进电机驱动的小带轮组装在下手臂固定座内，所述抓取机构的固定板连接在所述下手臂旋转轴上，并利用大、小带轮组成的传动机构驱动所述下手臂旋转轴转动，带动所述抓取机构固定板绕轴线转动，设置在所述抓取机构的抓取电机通过蜗轮蜗杆驱动抓取连杆带动夹爪沿所述抓取机构固定板的抓取滑轨往复移动，所述抓取机构上的定位机构设置可调定位块。

2.根据权利要求1所述的旋转型晶圆自动传输装置，其特征在于：驱动所述手臂机构作升降、伸展移动的手臂升降电机和手臂伸展电机分别固定在所述机架上和固定在沿机架的手臂升降单滑轨滑动的手臂升降基板上，所述手臂升降电机通过第三传动带和手臂升降螺杆驱动固定在手臂升降基板上的手臂升降螺母沿螺杆轴向往复移动，使手臂机构沿与机架的竖向作升降运动。

3.根据权利要求1或2所述的旋转型晶圆自动传输装置，其特征在于：所述手臂伸展电机通过减速机构、第二传动带驱动固定在上手臂上的手臂传动轴转动，所述手臂传动轴带动所述上手臂绕手臂固定轴摆动，通过上手臂旋转轴与所述上手臂连接的下手臂在上手臂内部传动带的带动下绕所述上手臂摆动，使手臂机构沿与机架垂直方向作伸展运动。

4.根据权利要求1所述的旋转型晶圆自动传输装置，其特征在于：所述风箱体组装在带有风箱体升降螺母的风箱体固定座上，固定在机架上的风箱体升降电机通过第一传动带和风箱体升降螺杆驱动风箱体升降螺母沿螺杆轴向往复移动，带动风箱体固定座沿机架的风箱体升降单滑轨上、下滑动。

5.根据权利要求1所述的旋转型晶圆自动传输装置，其特征在于：所述风箱体的扣爪机构的扣爪电机通过组装其轴上的拉杆销轴与扣爪拉杆一端铰接，扣爪拉杆另一端与扣爪轴端的曲柄铰接，扣爪轴另一端固定有扣爪，电机驱动扣爪轴上的曲柄绕轴线转动，带动扣爪开、合。