[发明专利]多羟基化合物和含有其的化学放大型抗蚀剂组合物

摘要

本发明提供了式(I)所代表的多羟基化合物：其中，R⁵¹到R⁶⁷各自独立地代表氢原子等，选自R¹到R⁵的至少一个为式(II)所代表的基团，其余的为氢原子或式(III)所代表的基团，其中Q¹和Q²各自独立地代表氟原子等，U代表C1-C20二价烃基等，A⁺代表有机反离子，其中X¹到X⁴各自独立地代表氢原子等，n代表0-3的整数，W代表如下基团中的任何一个：（见图）Z¹代表C1-C6烷基等，环Y代表C3-C20脂环烃基。本发明还提供含有该多羟基化合物的化学放大型抗蚀剂组合物。

主权项

1.式(I)所代表的多羟基化合物：其中R⁵¹、R⁵²、R⁵³、R⁵⁴、R⁵⁵、R⁵⁶、R⁵⁷、R⁵⁸、R⁵⁹、R⁶⁰、R⁶¹、R⁶²、R⁶³、R⁶⁴、R⁶⁵、R⁶⁶和R⁶⁷各自独立地代表氢原子或C1-C4烷基，选自R¹、R²、R³、R⁴和R⁵的至少一个为式(II)所代表的基团，其余的为氢原子或式(III)所代表的基团，其中Q¹和Q²各自独立地代表氟原子或C1-C6全氟烷基，U代表C1-C20二价烃基，所述C1-C20二价烃基中的至少一个亚甲基可被-O-、-S-、-NH-、-CO-、-CO-O-或-NR-所代替，其中R代表烷基，A⁺代表有机反离子，其中X¹、X²、X³和X⁴各自独立地代表氢原子或C1-C4烷基，n代表0-3的整数，W代表如下基团中的任何一个：-CO-O-， -O-CH₂-O-， -O-CH₂-O-CO-，Z¹代表C1-C6烷基或C3-C12环烷基，前提是当W不为-CO-O-时，Z¹可为氢原子，环Y代表C3-C20脂环烃基。