[发明专利]具有像差校正器和相位板的透射电子显微镜有效
| 申请号： | 200910006670.3 | 申请日： | 2009-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN101510492A | 公开（公告）日： | 2009-08-19 |
| 发明（设计）人： | P·C·蒂梅杰;A·F·德琼 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/153 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王洪斌;王忠忠 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及具有像差校正器和相位板的透射电子显微镜(TEM)。本发明涉及一种具有用于改善图像质量的校正器(330)和用于改善对比度的相位板(340)的TEM。经改善的TEM包括被完全置于物镜与相位板之间的校正系统，并且使用校正器的透镜在相位板上形成衍射平面的放大图像。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 校正 相位 透射 电子显微镜 | ||
【主权项】：
1. 一种通过以基本上平行的粒子束照射样本并且检测透过样本的粒子来形成样本的图像的设备，所述设备包括：·用于产生粒子束的粒子源(601)，·用于形成平行束的聚光器系统(602)，·用于将样本(603)保持在样本位置的样本固定器(604)，·用于形成样本的放大图像的物镜(305)，·相位板(340)，位于这样的平面中，其中穿过样本的射束的未散射部分形成基本上圆形焦点，·用于校正物镜的像差的校正系统(330)，·用于对样本的放大图像进行进一步放大的投影系统(606)，其特征在于，·至少部分校正系统被放置在样本位置与相位板之间，并且·所述至少部分校正系统被配备为将物镜的后焦平面成像到相位板的平面上。
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