[发明专利]板状体冷却装置以及热处理系统有效
| 申请号： | 200910001280.7 | 申请日： | 2009-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN101486529A | 公开（公告）日： | 2009-07-22 |
| 发明（设计）人： | 神田敏朗 | 申请（专利权）人： | 爱斯佩克株式会社 |
| 主分类号： | C03B27/04 | 分类号： | C03B27/04;C03B25/00 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙 淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种可以顺利冷却经过热处理的板状体的板状体冷却装置、以及具备该板状体冷却装置的热处理系统。板状体配置单元(20)具有多个送风单元配置部(30)，其中，在该送风单元配置部(30)中隔开规定间隔设置可以向基板(W)送风的送风单元(40)。当取出放入作为冷却对象的基板(W)时，可以将移载装置(11)的叉子爪(13)插入在送风单元配置部(30)侧面形成的动作区域(25)，进行动作。因此，支撑基板(W)用的支撑销(23)降低送风单元(40)的高度的量，可以将基板(W)与送风单元(40)之间的间隔减小送风单元(40)的高度的量。此外，由此能够提高沿着基板(W)流动的空气的流速，提高基板(W)的冷却效率。 | ||
| 搜索关键词： | 板状体 冷却 装置 以及 热处理 系统 | ||
【主权项】：
1. 一种板状体冷却装置，包括：配置有作为冷却对象的板状体的板状体配置单元；和送风单元，能够从所述板状体配置单元的侧面取出放入所述板状体，将其配置在所述板状体配置单元上，其特征在于，所述板状体配置单元具有从下方支撑所述板状体的支撑单元，所述送风单元能够从在上下方向接近所述板状体的位置向所述板状体送风。
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