[发明专利]板状体冷却装置以及热处理系统

说明书

技术区域

本发明涉及对玻璃基板等板状体进行热处理之后进行冷却用的板 状体冷却装置、采用该板状体冷却装置的热处理系统。

背景技术

以往，在制作液晶显示器(LCD：Liquid Crystal Display)、等离子 体显示器(PDP：Plasma Display)、有机EL显示器等平板显示器(FPD： Flat Panel Display)时使用的热处理系统具有：用于热处理玻璃基板等 板状体的热处理装置、和用于对经过热处理的板状体进行冷却的板状 体冷却装置。作为在上述热处理系统中采用的板状体冷却装置的一个 例子，下述专利文献1公开了一种装置。

在专利文献1中公开的现有技术中，分别设置加热热处理板状体 的热处理槽和冷却该板状体的冷却槽，将完成热处理的板状体从热处 理槽输送到冷却槽，进行冷却。在上述装置连续进行热处理时，由于 能够不大幅度降低热处理槽温度而进行冷却，所以可以减少热处理槽 所使用的能量。

【专利文献1】：日本特开2002-71936号公报

如上述现有技术那样，在分别安装热处理槽和冷却槽时，若不使 每个槽在工序中的处理能力大致相同，一个槽的能力有剩余，则无法 有效地进行处理。而且，若冷却槽的冷却时间长，则单位时间内能够 冷却的板状体的数量减少。因此，在采用现有技术那样的构成时，存 在的问题是：为了确保冷却槽的处理能力，使冷却槽大型化。

另外，如专利文献1所示，一般地，隔开间隔排列板状体，在板 状体之间使用于冷却的空气从侧供给，流向另外侧，从而冷却板状体。 因此，在采用上述构成时，存在下述问题：空气流动方向下游侧附近 的空气流变缓，板状体的冷却需要时间，且板状体的冷却因部位而变 得不均匀，下游侧的温度比上游侧高。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种可以顺利对经过热处理的板状 体进行冷却的板状体冷却装置，以及具备该板状体冷却装置的热处理 系统。

为了解决上述问题而提供的本发明的板状体冷却装置的第一方 面，包括：配置有作为冷却对象的板状体的板状体配置单元；和送风 单元，能够从上述板状体配置单元的侧面取出放入上述板状体，将其 配置在上述板状体配置单元上，其特征在于，上述板状体配置单元具 有从下方支撑上述板状体的支撑单元，上述送风单元能够从在上下方 向接近上述板状体的位置向上述板状体送风。

在本发明的板状体冷却装置中，送风单元可以从相对于配置在板 状体配置单元上的板状体接近的位置向板状体送风。因此，在本发明 的板状体冷却装置中，从送风单元送出的风通过在板状体与送风单元 之间形成的狭窄空间。因而，在本发明的板状体冷却装置中，低温空 气不断地流过板状体与送风单元之间，以此顺利冷却板状体。

如上所述，在本发明的板状体冷却装置中，能够不断地顺利冷却 板状体。因此，若根据上述构成，则为了确保板状体的冷却处理能力， 不需要使板状体冷却装置大于所需大小、形成大型化装置，而可以使 板状体冷却装置为小型化装置。

优选上述本发明的板状体冷却装置在送风单元侧面具有用于取出 放入板状体的移载装置能够动作的动作区域，由支撑单元支撑的板状 体与送风单元之间的间隙的高度小于上述动作区域的高度。

另外，为了解决同样问题而提供的本发明的第二方面的板状体冷 却装置，包括：配置作为冷却对象的板状体的板状体配置单元；和能 够向配置在该板状体配置单元上的板状体送风的送风单元，能够从侧 面相对上述板状体配置单元取出放入上述板状体，将其配置在上述送 风单元的上方，其特征在于，上述板状体配置单元具有：从下方支撑 上述板状体的支撑单元；送风单元配置部，其配置上述送风单元，使 得能够从下方向由该支撑单元支撑的上述板状体送风；和动作区域， 其设置在该送风单元配置部的侧面，在该动作区域内上述用于取出放 入板状体的移载装置能够动作。

在本发明的板状体冷却装置中，在设置在板状体配置单元上的送 风单元配置部上配置有送风单元。另一方面，板状体配置单元在送风 单元配置部的侧面具有动作区域，可以将该动作区域作为移载装置取 出放入板状体的动作区域进行有效利用。因此，本发明的板状体冷却 装置为小型装置。