[发明专利]板状体冷却装置以及热处理系统

权利要求书

1.一种板状体冷却装置，包括：

配置有作为冷却对象的板状体的板状体配置单元；和

送风单元，

能够从所述板状体配置单元的侧面取出放入所述板状体，将其配 置在所述板状体配置单元上，其特征在于，

所述板状体配置单元具有从下方支撑所述板状体的支撑单元，

所述送风单元能够从在上下方向接近所述板状体的位置向所述板 状体送风，

具备位于与所述送风单元邻接位置的空气冷却单元，

所述空气冷却单元能够冷却从所述送风单元向所述板状体送出 的、沿着所述板状体流动的空气，通过所述空气冷却单元冷却的空气 被从所述送风单元的吸气口吸入，用于冷却所述板状体。

2.如权利要求1所述的板状体冷却装置，其特征在于：

在送风单元侧面具有用于取出放入板状体的移载装置能够动作的 动作区域，

由支撑单元支撑的板状体与送风单元之间的间隙的高度小于所述 动作区域的高度。

3.一种板状体冷却装置，包括：

配置作为冷却对象的板状体的板状体配置单元；和

能够向配置在该板状体配置单元上的板状体送风的送风单元，

能够从侧面相对所述板状体配置单元取出放入所述板状体，将其 配置在所述送风单元的上方，其特征在于，

所述板状体配置单元具有：

从下方支撑所述板状体的支撑单元；

送风单元配置部，其配置所述送风单元，使得能够从下方向由该 支撑单元支撑的所述板状体送风；和

动作区域，其设置在该送风单元配置部的侧面，

在该动作区域内用于取出放入所述板状体的移载装置能够动作，

具备位于与所述送风单元邻接位置的空气冷却单元，

所述空气冷却单元能够冷却从所述送风单元向所述板状体送出 的、沿着所述板状体流动的空气，通过所述空气冷却单元冷却的空气 被从所述送风单元的吸气口吸入，用于冷却所述板状体。

4.如权利要求3所述的板状体冷却装置，其特征在于：

由支撑单元支撑的板状体与送风单元之间的间隙的高度小于所述 动作区域的高度。

5.如权利要求1～4中任一项所述的板状体冷却装置，其特征在 于：

在板状体配置单元上隔开间隔配置多个送风单元，流经在与该送 风单元邻接的位置形成的空间，空气能够在所述送风单元上方侧的空 间和下方侧的空间之间通过。

6.如权利要求1～4中任一项所述的板状体冷却装置，其特征在 于：

在板状体配置单元上设置多个送风单元，

在板状体配置单元的上方配置有板状体的状态下，在该板状体的 外周侧区域沿着所述板状体流动的空气的风速比在所述板状体的中央 侧区域沿着所述板状体流动的空气的风速小。

7.如权利要求1～4中任一项所述的板状体冷却装置，其特征在 于：

板状体配置单元形成使纵梁和横梁组合而构成的骨骼构造，

在邻接的纵梁之间形成的送风单元配置部上设置有送风单元，

用于取出放入板状体的移载装置能够动作的动作区域沿着纵梁延 伸地形成在所述送风单元配置部的侧面。

8.如权利要求1～4中任一项所述的板状体冷却装置，其特征在 于：

具有能够向中空的板状体配置单元供给空气的空气供给单元，

板状体配置单元具有作为送风单元的送风部，

该送风部具有送风口，所述送风口能够将导入板状体配置单元内 的空气排出，并对板状体吹气。

9.一种热处理系统，其特征在于，包括：

对板状体进行热处理的热处理装置；

权利要求1～8中任一项所述的板状体冷却装置；和

取出经过热处理的板状体并将其搬入所述板状体冷却装置的移载 装置。