[发明专利]用于制备光学导波器的方法无效
| 申请号： | 200880124424.1 | 申请日： | 2008-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN101910899A | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | 张俊颖;特里·L·史密斯;巴里·J·科赫;易亚沙 | 申请（专利权）人： | 3M创新有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/132 | 分类号： | G02B6/132 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 张爽;樊卫民 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种制备导波器的方法，所述方法包括以下步骤：(a)提供导波器结构，所述导波器结构包括基底(22)、在所述基底上的下包层(20)和芯层(24)，所述芯层(24)包含在所述下包层上的氮化硅、无定形硅或无定形硅-锗合金；(b)将所述芯层图案化；以及(c)退火(28)所述导波器结构。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制备 光学 导波 方法 | ||
【主权项】：
一种制备导波器的方法，该方法包括以下步骤：(a)提供导波器结构，所述导波器结构包括基底、在所述基底上的下包层和在所述下包层上的芯层，所述芯层包含氮化硅、无定形硅或无定形硅 锗合金；(b)将所述芯层图案化；以及(c)将所述导波器结构退火。
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