[发明专利]检测移动衬底的形状变化的方法和装置有效
| 申请号： | 200880124110.1 | 申请日： | 2008-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN101910782A | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | S·R·马卡姆 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B11/30;C03B17/06 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 李玲;张东梅 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 揭示了一种用于检测连续衬底的形状变化的方法，该方法：包括提供连续移动通过测量区域的连续衬底，提供与测量区域的至少一部分光连通的光学位置传感器，用激光射线照射测量区域的至少一部分内连续衬底的至少一部分，并检测激光射线的反射，然后确定连续衬底的被照射部分与光学位置传感器之间的距离。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 移动 衬底 形状 变化 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种用于检测连续衬底形状变化的方法，所述方法包括：(a)用激光射线照射测量区域内连续衬底的至少一部分，(b)在光学位置传感器上检测所述激光射线的反射的至少一部分，以及然后(c)确定所述连续衬底的所述被照射部分与所述光学位置传感器之间的距离，以及然后(d)将所述距离与预定值相比较，差值指示所述连续衬底的形状变化。
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