[发明专利]自动扫描探针成像的方法和设备有效
| 申请号： | 200880115559.1 | 申请日： | 2008-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN101855534A | 公开（公告）日： | 2010-10-06 |
| 发明（设计）人： | 苏全民;谢尔盖·别利科夫 | 申请（专利权）人： | 威科仪器公司 |
| 主分类号： | G01N13/10 | 分类号： | G01N13/10;H01J37/26 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 顾晋伟;王春伟 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种操作扫描探针显微镜(SPM)(10)的方法，包括在所述SPM(10)的探针(14)与样品(22)相互作用时扫描所述样品(22)，以及收集响应于所述扫描步骤(36)的样品表面数据。所述方法从所述样品表面数据识别(38)所述样品(22)的特征，并且基于所述识别步骤(38)以自动执行所述特征的放大扫描(42)。所述方法操作为快速识别和确认目的特征如纳米微刺(asperity)的位置，以有助于执行所述特征的定向高分辨率成像。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 扫描 探针 成像 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种操作扫描探针显微镜(SPM)(10)以识别一个或更多个样品特征并提供更高分辨率的方法，所述方法包括：在所述SPM(10)的探针(14)与样品(22)相互作用时以第一分辨率(36)扫描所述样品(22)；收集响应于所述扫描步骤(22)的样品表面数据；和在收集所述样品表面数据期间，利用至少两个识别参数(38)，基于所述样品表面数据识别所述样品的包括所检测特征的子部；和自动在所述SPM(10)的探针(14)与所述样品(22)的所述子部相互作用时以第二分辨率(42)扫描所述样品的所述子部，所述第二分辨率高于所述第一分辨率。
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- 2007-12-10 - 2009-06-17 - G01N13/10
- 双探针同点测量扫描探针显微镜利用XY或XYZ压电扫描器、X定位范围增强了的或者增设了XY惯性步进的XY或XYZ压电扫描器，将样品测量点从第一探针送至第二探针附近并通过寻找记号实现第二探针对第一探针测量点的再次测量。两个探针由两个独立的Z定位器来调节它们与样品的间距，使得各探针不干扰另一探针的测量。该设计比现有的移动探针的同点测量技术少一个长程自由度，且双针允许相隔较远，也允许为不同类型探针，所以控制与制作都大为简化、且给出的数据更全面、可靠，意义更广、更深，特别适用于相变、反应动力学和交叉学科的研究。
- 一种基于扫描隧道显微镜的纳米级金相显微镜-200820060197.8
- 胡志强;罗先照 - 上海海兹思光电科技有限公司
- 2008-06-24 - 2009-06-10 - G01N13/10
- 本实用新型涉及一种基于扫描隧道显微镜的纳米级金相显微镜，包括目镜或数字相机设备、物镜转换器、STM探头、支架，目镜或数字相机设备固定在支架的顶部，物镜以及由物镜改装的STM探头均连接上部的物镜转换器并固定在支架上，所述STM探头由上部的压电陶瓷扫描器与下部的探针组成并通过物镜适配器固定，所述STM探头连接电子学控制及扫描单元并通过PC机显示与处理单元对其控制，下部的探针部分连接放大电路装置。本实用新型有益效果为：将光学显微技术的方便性和扫描隧道显微镜(STM)的高分辨率特点相结合，实现了金相显微镜在导电物体表面结构纳米级的分析与测量；实现了STM与光学物镜的观察连续性，极大地提高了工作效率。
- 低维材料应力状态下性能测试装置-200810239234.6
- 韩晓东;岳永海;张跃飞;张泽 - 北京工业大学
- 2008-12-05 - 2009-04-29 - G01N13/10
- 低维材料应力状态下性能测试装置属于低维纳米材料应力状态下综合性能测试领域，其特征在于包括底座和一端固定在底座上另一端为自由端的压电陶瓷。在底座上加装了一个三轴位移调节装置，用以调节软悬臂梁和硬悬臂梁在同一水平面内并且间距在2～50μm之间，利用精密激光定位系统可以获得在拉伸变形过程中软悬臂梁精确的变形量。从而测得施加在材料上的应力值，揭示材料所受应力与变形机制之间的关系，同时还可以从事材料在应力作用下的光学、电学性能的研究。本发明结构简单，价格低廉，性能可靠，可实现低维材料在受应力状态下电、光等综合性能的测试。
- 不锈钢铸坯夹杂物金相自动检测方法-200810079426.5
- 裴海祥;王烽;袁刚 - 山西太钢不锈钢股份有限公司
- 2008-09-19 - 2009-04-08 - G01N13/10
- 一种不锈钢铸坯夹杂物金相自动检测方法，目的是简单实用、相对误差小；本发明先制样；用压平器将试样压平，再将试样置于自动载物台上；打开显微镜，聚焦观察试样；通过电荷耦合器件CCD将夹杂物图像摄入夹杂物分析软件的摄图框中，图像调整清楚后，应用自动图像分析测定钢和其它金属中夹杂物数量的标准ASTM E1245对其夹杂物的特性值进行设定；并对硫化物和氧化物夹杂的特性值进行设定，用夹杂物分析软件对试样中夹杂物进行检测，并将所检测结果以特定的报告形式输出。
- 扫描探针显微镜双步进可拼图扫描器-200810194864.6
- 庞宗强;王霁晖;陆轻铀 - 中国科学技术大学
- 2008-10-21 - 2009-04-08 - G01N13/10
- 本发明扫描探针显微镜双步进可拼图扫描器，属扫描探针显微镜领域，包括基座(1)、压电扫描管(2)、滑块(4)，还包括立柱(3)，所述压电扫描管和立柱并排站立并固定于基座上，滑块设置于所述压电扫描管和立柱的顶部，滑块与立柱间设有凹槽(7)以及顶在槽口或槽面的凸顶(8)，所述凹槽是沿压电扫描管和立柱的排列方向的，且在该方向上滑块与立柱间的最大静摩擦力小于滑块与压电扫描管间的最大静摩擦力。本发明不增加结构复杂性，仅需一个压电扫描管就能使探针在无反冲的前提下进行毫米以上范围原子分辨率成像搜索，其结构极为简单、紧凑，方便其在各种极端环境下使用，能大大地降低控制信号间的干扰，并能减少温漂，提高稳定性。
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