[发明专利]具有旋转过滤器装置的光刻设备无效
| 申请号： | 200880106413.0 | 申请日： | 2008-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN101802714A | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | E·J·布斯;T·A·R·范埃姆皮尔 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;C04B35/83;G21K1/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王新华 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明公开了一种包括过滤器装置(149)的光刻设备(1)。过滤器装置(149)具有连接至保持器(201)的多个翼片(200)，所述保持器能够围绕旋转轴线(RA)旋转。所述翼片(200)被布置基本上平行于所述旋转轴线(RA)。所述翼片(200)包括从由碳-碳复合物(C-C复合物)和碳-碳化硅复合物(C-SiC复合物)构成的组中选出的单向碳纤维复合材料。在操作期间，过滤器装置(149)旋转且过滤出来自辐射源(SO)，例如Sn等离子体源的碎片。可以提供这样的过滤器装置(149)本身。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 旋转 过滤器 装置 光刻 设备 | ||
【主权项】：
一种光刻设备，所述光刻设备包括过滤器装置，所述过滤器装置包括连接至保持器的多个翼片，所述保持器能够围绕旋转轴线旋转，所述翼片被布置成基本上平行于所述旋转轴线，且包括从由碳-碳复合物和碳-碳化硅复合物构成的组中选出的单向碳纤维复合材料。
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