[发明专利]等离子体处理装置、供电装置及等离子体处理装置的使用方法

摘要

本发明提供一种使用了同轴管的微波的传输线路。在等离子体处理装置(10)中，将从微波源(900)经由分支波导管(905)向同轴管(600)传输的微波利用分支板(610)分成多个微波，向多个同轴管的内部导体(315a)传输。沿各同轴管的内部导体(315a)传输来的微波从与各内部导体(315a)连接的各电介质板(305)释放到处理容器(100)的内部。利用所释放的微波来激发导入到处理容器(100)中的处理气体，对基板(G)实施期望的等离子体处理。通过使用多个电介质板(305)，可以应对大面积化，提高扩展性，并且通过在传输线路中使用同轴管，可以实现传输线路的设计紧凑，并兼顾供给低频的微波。

主权项

1.一种等离子体处理装置，利用电磁波激发气体，对被处理体进行等离子体处理，具备：处理容器；输出电磁波的电磁波源；传输从所述电磁波源中输出的电磁波的传输线路；多个电介质板，其设于所述处理容器的内壁上，使电磁波透过，释放到所述处理容器的内部；多个导体棒，其与所述多个电介质板相邻或接近，使电磁波传输到所述多个电介质板；分支部，其将沿所述传输线路传输来的电磁波分成多个电磁波，向所述多个导体棒传输，1个或2个以上的导体棒与各电介质板相邻或接近。