[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法及蒸镀装置的制造方法有效
| 申请号： | 200880003779.5 | 申请日： | 2008-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN101600815A | 公开（公告）日： | 2009-12-09 |
| 发明（设计）人： | 周藤贤治 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李 伟;舒艳君 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 蒸镀装置(10)具有：多个蒸镀源(210)，其使收纳的不同成膜材料分别气化；多个喷出机构(110)，其从喷出口(Op)喷出在多个蒸镀源(210)气化的成膜材料；1个或2个以上的隔壁(120)，其将相邻的喷出机构(110)隔开。该1个或2个以上的隔壁分别被配置为如下：从各隔壁(120)到基板(W)的间隙G、从喷出口(Op)到各隔壁(120)的上面的高度(T)、各隔壁的厚度(D)以及从各蒸镀源(210)的中心位置到各隔壁(120)的中心位置的距离(E)满足E＜(G+T)×D×G/2。另外，将蒸镀装置(10)的内部压力控制为0.01Pa以下，使得成膜材料的最长飞行距离短于成膜材料的平均自由行程。通过这样的蒸镀装置(10)，可以一边降低交叉污染，一边在同一处理容器内连续地形成多层膜。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 制造 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，在处理容器内通过蒸镀对被处理体进行成膜处理，其特征在于，具有：多个蒸镀源，其收纳成膜材料，并使收纳的成膜材料分别气化；多个喷出机构，其分别连接于所述多个蒸镀源，并具有喷出口，从所述喷出口分别喷出在所述多个蒸镀源被气化的成膜材料；以及1个或2个以上的隔壁，其配置于所述多个喷出机构中的相邻的喷出机构之间，将所述相邻的喷出机构分别隔开。
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