[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法及蒸镀装置的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及蒸镀装置、蒸镀方法以及蒸镀装置的制造方法，特别是涉及蒸镀装置内部的污染问题。 

背景技术

在制造平板显示器等电子设备时，广泛地使用蒸镀法，该蒸镀法通过使预定的成膜材料气化，将由此生成的气体分子附着于被处理体，从而使被处理体成膜。使用该技术制造出的设备中，尤其是有机EL显示器，被认为在可以自发光、反应速度快、耗电少等方面优于液晶显示器。为此，预计今后平板显示器的需求将越来越多，在平板显示器的制造业界，将会更加关注有机EL显示器，制造有机EL显示器时所使用的上述技术也将会随之变为非常重要。 

在此社会背景下备受注目的上述技术，由蒸镀装置来具体实现，但以往的蒸镀装置中，在一个处理容器内收纳有一个蒸镀源(比如，参照专利文献1)。因此，以往的蒸镀装置中，通过将从蒸镀源释放出的气化分子通过掩模，使气化分子附着于被处理体的预定位置，从而在被处理体上实施所期望的成膜。因此，为了在被处理体上形成一层膜，需要一个处理容器。 

专利文献1：日本特开2000-282219号公报 

但是，如果为形成一层膜而需要一个处理容器，那么在被处理体上形成多层膜时就需要多个处理容器，占用空间就会变大。其结果，不仅仅增大工厂的规模，还会大大提高在搬送被处理体过程中使该被处理体附着污染物的可能性。 

另外，为解决该问题，可以考虑在一个处理容器内配置多个蒸镀源，通过将由各个蒸镀源气化得到的成膜分子附着于被处理体，在被处理体上连续地形成多层薄膜。但是，这种情况下，由相邻的蒸镀源释放出的成膜分子会和相邻的蒸镀源释放出的分子相互混合(交叉污染)，可能会使各层膜的质量恶化。 

发明内容

为解决上述问题，本发明提供一种能够边降低交叉污染，边在同一处理容器内连续地形成多层膜的蒸镀装置、蒸镀方法及蒸镀装置的制造方法。 

于是，为解决上述问题，按照本发明的观点，提供蒸镀装置。该蒸镀装置是在处理容器内通过蒸镀对被处理体进行成膜处理，其具有：多个蒸镀源，其收纳有成膜材料，使被收纳的成膜材料分别气化；多个喷出机构，其分别连接于所述多个蒸镀源，并具有喷出口，由所述喷出口分别喷出在所述多个蒸镀源被气化的成膜材料；和1个或2个以上的隔壁，其配置于所述多个喷出机构中的相邻的喷出机构之间，将所述相邻的喷出机构分别隔开。 

在此，气化不仅是液体变为气体的现象，还包括固体不经液体的状态而直接变为气体的现象(即，升华)。 

通过本发明的蒸镀装置，在多个蒸镀源被气化的成膜材料(成膜分子)分别由设置在同一处理容器内的多个喷出机构的喷出口喷出。此时，在相邻的喷出机构之间，设有将所述相邻的喷出机构分别隔开的1个或2个以上的隔壁。由此，可以边抑制由各喷出口喷出的成膜材料越过各隔壁而飞到邻近的喷出口侧的情况(即，边抑制交叉污染)，边由被气化的成膜材料在同一处理容器内对被处理体连续地形成膜。这样，就可以避免在相邻的蒸镀源被气化的成膜分子混入被其相邻的蒸镀源气化的成膜分子(即，交叉污染)中，而使各层膜的质量劣化的情况。 

此外，按照相关结构，由于可以在同一处理容器内连续成膜，可以降低在搬送被处理体过程中使被处理体附着污染物的情况。其结果，通过抑制交叉污染的发生可以既良好地保证各层膜的特性，又可以通过减少在被处理体上附着的污染物的数量从而提高能量界面控制性、降低能量垒(energy barrier)。因此，可以提高有机EL元件的发光强度(亮度)。另外，由于是在同一处理容器内对被处理体实施连续成膜，可以减小占用空间。 

另外，在各蒸镀源内收纳的成膜材料，可以是有机EL成膜材料或者有机金属成膜材料，所述蒸镀装置可以以有机EL成膜材料或者有机金属成膜材料为有机材料，在被处理体上形成有机EL膜或者有机金属膜中的任一方

另外，所述多个喷出机构具有相同的形状并被等间隔、平行地配置，所述1个或2个以上的隔壁具有相同的形状，且被等间隔、平行地配置在所述相邻的喷出机构之间且到所述相邻的喷出机构等距离的位置。 

另外，与所述相邻的喷出机构的面对置的各隔壁的面大于所述相邻的喷出机构的面。由此，通过隔壁可以抑制由各喷出机构的喷出口喷出的成膜材料飞到邻近的喷出机构侧的情况。