[发明专利]蒸镀装置

摘要

本发明提供一种虽然使用现有的真空蒸镀装置但也能够大幅度缩短对容器的蒸镀时间的蒸镀装置。蒸镀装置设有能以旋转轴为中心旋转的旋转体(14)、在旋转体(14)上朝向周向配设有多个蒸镀单元、在面对旋转体14的周部的位置配置有微波振荡器(34)。在蒸镀单元(15)从蒸镀单元(15)的处理室主体(16)的容器供给位置向容器蒸镀位置旋转移动期间内，利用真空装置对容器(25)内和处理室(24)内进行预减压，在容器蒸镀位置蒸镀单元和振荡器(34)接近后，对容器内和处理室进行了主减压。然后，利用微波振荡器(34)蒸镀容器。

主权项

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：支承台，能间歇旋转；多个蒸镀单元，其具有开闭自如的处理室，其沿周向隔开间隔地配设在该支承台上，利用该支承台的间歇旋转依次位于搬入/搬出区域、预减压区域、蒸镀区域和减压解除区域；被蒸镀体搬入/搬出部件，其用于将蒸镀有薄膜的被蒸镀体自位于该搬入/搬出区域的该蒸镀单元的该处理室内搬出，且将要蒸镀薄膜的被蒸镀体搬入到被搬出L被蒸镀体的该蒸镀单元的该处理室内；预减压部件，其对位于该预减压区域的该蒸镀单元的该处理室内进行排气而使该处理室内成为减压状态；蒸镀部件，其包括：为了对存在于位于该蒸镀区域的该蒸镀单元的该处理室内的被蒸镀体蒸镀薄膜而对该处理室内进行排气使该处理室内成为减压状态的主减压部件；向该处理室内供给薄膜蒸镀所需要的气体的气体供给部件和用于在该处理室内生成电磁波的电磁波生成部件；以及减压解除部件，其解除位于该减压解除区域的该蒸镀单元的该处理室内的减压状态。