[发明专利]基板位置检测装置及其摄像部件位置调整方法

摘要

公开一种方法，是在基板位置检测装置中对拍摄基板摄像面上的摄像部件的摄像区域的坐标的配置进行调整的摄像部件调整方法，该基板位置检测装置被配置在载置基板的可转动的载置台和基板交接装置的附近，该基板交接装置与载置台分开准备，并构成为相对于载置台能够在水平方向上驱动向载置台交接基板的支撑销。该方法利用支撑销将具有与基板的周缘部对应的标记的带标记的晶圆支撑在载置台上方的规定高度，使标记进入摄像区域内，在水平方向上驱动支撑销来一边在摄像区域内的一个方向上每次移动标记规定距离地进行移动、一边在多个点上检测标记，按照检测出的多个点的排列方向校正坐标的轴方向，利用高度调整用夹具将带标记的晶圆维持在载置台上方的规定高度上，使标记进入摄像区域内，转动载置台来一边在摄像区域内每次移动标记规定角度地进行移动、一边在多个点上检测标记，按照根据这些多个点求出的转动中心来校正坐标的原点位置。

主权项

1.一种基板位置检测装置的摄像部件位置调整方法，是在基板位置检测装置中对拍摄上述基板的面上的上述摄像部件的摄像区域的坐标的配置进行调整的摄像部件位置调整方法，其中，上述基板位置检测装置根据由摄像部件拍摄基板的周缘部而得到的图像来检测上述基板的位置，上述基板位置检测装置被配置在载置上述基板的可转动的载置台和基板交接装置附近，该基板交接装置与上述载置台分别准备，该基板交接装置构成为相对于上述载置台能够在水平方向上驱动向上述载置台交接上述基板且/或从上述载置台交接上述基板的支撑销，上述方法包括以下工序：利用上述支撑销将配置有标记的带标记的晶圆支撑在上述载置台的上方的规定高度上，使得该晶圆与上述基板的周缘部对应，使上述标记进入上述摄像部件的摄像区域内，在水平方向上驱动上述支撑销，由此一边在上述摄像区域内将上述标记向水平方向的一个方向上每次移动规定距离地进行移动、一边在多个点上检测上述标记，按照该多个点排列的方向校正上述坐标的轴方向；以及利用高度调整用夹具将上述带标记的晶圆维持在上述载置台上方的上述规定高度上，使上述标记进入上述摄像区域内，转动上述载置台，由此一边在上述摄像区域内将上述标记每次移动规定角度地进行移动、一边在多个点上检测上述标记，按照根据该多个点算出的转动中心来校正上述坐标的原点位置。