[实用新型]扩散系统硅片装载装置

摘要

一种扩散系统硅片装载装置，用于制备半导体器件与太阳能光伏电池PN结扩散掺杂设备中；它包括一端有进气口而下部设有碳化硅悬臂桨的石英管，石英舟置于碳化硅悬臂桨上，石英舟靠近所述进气口一端设有置于碳化硅悬臂桨上的石英匀流板且该石英匀流板与石英舟之间有间距，石英舟另一端设有石英挡板且其与石英舟之间有间距；石英匀流板一侧开有一个与其内腔连通的较大进气孔而其另一侧开设有多个与其内腔连通且均匀分布的较小出气孔。它既可以最大的数量的放置硅片，又能保证所扩散后的硅片的电阻值在规定的要求内，并可有效地对炉尾部的气流进行分散，使整个反应管内的气氛均匀；还能方便手工装卸石英舟，该装置配合高温扩散系统中的送片装置，可实现低成本、高质量扩散掺杂。

主权项

1、一种扩散系统硅片装载装置，包括一端有进气口(6)的石英管(5)，石英管(5)内腔下部设有碳化硅悬臂桨(3)，石英舟(2)置于该碳化硅悬臂桨(3)上，其特征是，在石英舟(2)靠近所述进气口(6)的一端设有置于碳化硅悬臂桨(3)上的石英匀流板(1)且该石英匀流板(1)与石英舟(2)之间有间距，在所述石英舟(2)的另一端设有石英挡板(4)且该石英挡板(4)与石英舟(2)之间有间距；所述石英匀流板(1)一侧开有一个与其内腔(7)连通的较大进气孔(8)，而该石英匀流板(1)另一侧开设有多个与其内腔(7)连通且均匀分布的较小出气孔(9)。