[实用新型]扩散系统硅片装载装置

权利要求书

1、一种扩散系统硅片装载装置，包括一端有进气口(6)的石英管(5)，石英管(5)内腔下部设有碳化硅悬臂桨(3)，石英舟(2)置于该碳化硅悬臂桨(3)上，其特征是，在石英舟(2)靠近所述进气口(6)的一端设有置于碳化硅悬臂桨(3)上的石英匀流板(1)且该石英匀流板(1)与石英舟(2)之间有间距，在所述石英舟(2)的另一端设有石英挡板(4)且该石英挡板(4)与石英舟(2)之间有间距；所述石英匀流板(1)一侧开有一个与其内腔(7)连通的较大进气孔(8)，而该石英匀流板(1)另一侧开设有多个与其内腔(7)连通且均匀分布的较小出气孔(9)。

2、根据权利要求1所述扩散系统硅片装载装置，其特征是，在石英舟(2)两端上部各设置一根石英管(10)。

3、根据权利要求1所述扩散系统硅片装载装置，其特征是，在所述石英舟(2)两端板(11)上均开设方孔(12)。

4、根据权利要求1所述扩散系统硅片装载装置，其特征是，所述石英舟(2)的硅片槽(13)之间的距离(L)小于5mm。

5、根据权利要求1所述扩散系统硅片装载装置，其特征是，石英舟(2)的硅片槽(13)的槽深(d)小于3mm，槽宽(a)为0.7～0.8mm。