[实用新型]新型太阳电池等离子刻蚀模具

摘要

本实用新型公开一种新型太阳电池等离子刻蚀模具，属于太阳电池刻蚀设备技术领域，包括底盘、底板、盖板，安装在底盘上方的加压装置，安装在底盘上的定位系统，定位系统包括L型定位块，三个定位柱，两个定位销；其中，第一、第二两定位柱由上而下竖直排列固定安装在L型定位块的竖直部上，第三定位柱固定安装在L型定位块的横向部上；加压装置包括一对立柱、加压条、螺栓、数控扭力扳手，加压条水平设置在立柱上端，加压条中间开设有与螺栓相配合的螺孔，且螺孔中心线垂直于加压条；盖板中心开设有容纳槽；数控扭力扳手与螺栓相配合；底盘与底板之间设置有不少于三个的支撑柱，且所有支撑柱等高。本实用新型刻蚀速度快、成品率高、产品性能统一。

主权项

1、一种新型太阳电池等离子刻蚀模具，包括底盘(9)、底板(1)、盖板(2)，安装在底盘(9)上方的加压装置，其特征在于：还包括安装在底盘(9)上的定位系统，该定位系统包括一个L型定位块(11)，三个定位柱(12a、12b、12c)，两个定位销(13a、13b)；其中，定位柱(12a)、定位柱(12b)由上而下竖直排列固定安装在L型定位块(11)的竖直部(14)上，定位柱(12c)固定安装在L型定位块(11)的横向部(15)上；位于定位柱(12a)、定位柱(12b)之间的竖直部(14)上开设有与定位销(13a)相配合的通孔(16a)，且定位销(13a)底端延伸至通孔(16a)外；位于定位柱(12c)左侧的横向部(15)上开设有与定位销(13b)相配合的通孔(16b)，且定位销(13b)底端延伸至通孔(16b)外；所述加压装置包括一对立柱(3a、3b)、加压条(4)、螺栓(5)、数控扭力扳手(6)，加压条(4)水平设置在立柱(3a、3b)的上端，加压条(4)中间开设有与螺栓(5)相配合的螺孔(7)，且螺孔(7)中心线垂直于加压条(4)；所述盖板(2)的中心开设有容纳槽(2a)；数控扭力扳手(6)与螺栓(5)相配合；所述底盘(9)与底板(1)之间设置有不少于三个的支撑柱(17)，且所有支撑柱(17)等高。