[实用新型]新型电极盒

摘要

一种新型电极盒，用于真空镀膜机内。所述电极盒上部设置有进气口，下部设有排气口，进气口通过设有入气小孔矩阵的匀气板与电极盒内腔相通，排气口通过设有出气小孔矩阵的基板与电极盒内腔相通，该电极盒内腔包括若干电极板、该电极板上端与匀气板垂直连接，电极板下端与基板垂直连接，其特征在于：所述电机盒进一步包括安装于匀气板与基板之间且与电极板平行的辅助隔热板，所述辅助隔热板分别位于若干电极板两侧，所述匀气板、辅助隔热板及基板围成一个框体。被镀膜的玻璃基板平行放置并覆盖各个电极板的两主平面。本实用新型新型电极盒极大的提高了在玻璃基板上沉积薄膜的质量。

主权项

1. 一种新型电极盒，用于在真空镀膜机内对玻璃基板镀膜，所述电极盒上部设置有进气口，下部设有排气口，进气口通过设有入气小孔矩阵的匀气板与电极盒内腔相通，排气口通过设有出气小孔矩阵的基板与电极盒内腔相通，该电极盒内腔包括若干电极板、该电极板上端与匀气板垂直连接，电极板下端与基板垂直连接，其特征在于：所述电机盒进一步包括安装于匀气板与基板之间且与电极板平行的辅助隔热板，所述辅助隔热板分别位于若干电极板两侧，所述匀气板、辅助隔热板及基板围成一个框体。