[实用新型]一种掩膜版传递和检查夹具有效
| 申请号： | 200820147155.8 | 申请日： | 2008-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN201273985Y | 公开（公告）日： | 2009-07-15 |
| 发明（设计）人： | 荆学军 | 申请（专利权）人： | 清溢精密光电(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/00 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518057广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型适用于传递和检查夹具技术领域，提供了一种掩膜版传递和检查夹具，其包括一框架、若干位于所述框架上的用来支撑掩膜版的支撑件和定位掩膜版的定位件，且所述支撑件的高度小于所述定位件的高度；所述框架的一对边中部分别向外设有一把手，所述把手和框架之间通过连接件连接。在传递时手握住把手，不会接触到掩膜版，避免了手对掩膜版的污染；掩膜版在仪器上检查时，在大小塑料销钉的作用下，可以保证掩膜版上的保护膜不被损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版 传递 检查 夹具 | ||
【主权项】：
1、一种掩膜版传递和检查夹具，包括一框架，其特征在于：还包括若干位于所述框架上的用来支撑掩膜版的支撑件和定位掩膜版的定位件，且所述支撑件的高度小于所述定位件的高度。
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