[实用新型]无尘设备结构无效
| 申请号： | 200820142906.7 | 申请日： | 2008-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN201311547Y | 公开（公告）日： | 2009-09-16 |
| 发明（设计）人： | 侯帝光 | 申请（专利权）人： | 邱碧青 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 天津三元专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 钱 凯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种无尘设备，至少一舱体，舱体中设有黄光制程设备，且舱体设有至少一将尘粒子排出并阻绝尘粒子进入的排尘装置，舱体设有至少一舱门，以及至少一工作手套。本实用新型可节省厂房使用空间以及无尘室建造的较高成本，亦可作为教学用，故学校不需再花费经费建立无尘室即可于实习时进行黄光制程教学。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 结构 | ||
【主权项】：
1.一种无尘设备结构，其特征在于：至少一舱体，舱体中设有黄光制程设备，且舱体设有至少一将尘粒子排出并阻绝尘粒子进入的排尘装置，舱体设有至少一舱门，以及至少一工作手套。
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