[实用新型]无尘设备结构

权利要求书

1.一种无尘设备结构，其特征在于：至少一舱体，舱体中设有黄光制程设备，且舱体设有至少一将尘粒子排出并阻绝尘粒子进入的排尘装置，舱体设有至少一舱门，以及至少一工作手套。

2.根据权利要求1所述的无尘设备结构，其特征在于：所述舱体于舱门一侧设有一过渡舱，此过渡舱设有一与该舱体的舱门对应设置的另一舱门，且亦设有至少一将尘粒子排出并阻绝尘粒子进入的排尘装置。

3.根据权利要求2所述的无尘设备结构，其特征在于：所述舱体于两侧分别设有一舱门，舱体于各舱门的一侧设有一过渡舱。

4.根据权利要求1所述的无尘设备结构，其特征在于：所述排尘装置包括至少一将尘粒子排出的鼓风机以及至少一阻绝尘粒子进入的气体过滤器。

5.根据权利要求2所述的无尘设备结构，其特征在于：所述排尘装置包括至少一将尘粒子排出的鼓风机以及至少一阻绝尘粒子进入的气体过滤器。

6.根据权利要求1所述的无尘设备结构，其特征在于：所述工作手套是设于舱体，且与舱体间具有防尘构造，且于设置工作手套的舱体上方具有一供操作者于制程中方便检视舱内的斜角结构。

7.根据权利要求1所述的无尘设备结构，其特征在于：所述舱体中设置的黄光制程设备包括一黄光专用的湿式工作台Wet Bench、一对准曝光机Aligner、一热板Hot Plat以及一旋涂机Spin Coater。