[实用新型]一种化学气相淀积反应器及反应腔

摘要

本实用新型揭示了一种用于化学气相淀积反应器及其反应腔。其中，加热装置由若干单独测控的扇形加热单元组成，在所述扇形加热单元之间可以放置衬底载盘支撑或反应腔顶盖支撑。所述加热装置具有结构简单，操作与维修方便，制造和使用成本低等优点，适用于大直径化学气相淀积反应器反应腔中加热环形或圆形或由若干扇形衬底载盘单元组成的环形或圆形衬底载盘。

主权项

1. 一种化学气相淀积反应器，包含反应腔，该反应腔包括放置在所述反应腔底盘中央的加热装置；其特征在于，所述加热装置由若干扇形加热单元组成，每个扇形加热单元由各自的温度测量和电源系统来实现独立的加热过程和温度控制，并放置在相对应的加热单元支撑上；所述扇形加热单元水平拼装形成的环形加热装置上方放置有圆形或环形衬底载盘；所述加热单元通过热辐射或射频耦合加热所述衬底载盘。