[实用新型]一种观察硅片表面的运动支撑机构

摘要

本实用新型涉及一种观察硅片表面的运动支撑机构，其特征在于它包括一竖直设置的、由水平电机通过带动水平旋转的空心支柱，支柱的上下两端分别伸出有翼耳，在下端的翼耳上固定有一曲柄电机，曲柄电机的输出轴连接一曲柄盘，曲柄盘偏心处通过一转轴连接一空心联杆，支柱上端伸出的两翼耳间，枢接一吸盘摆柄，吸盘摆柄的前端枢接在联杆的顶部，吸盘摆柄的空腔内设置一自转电机，自转电机输出端连接一吸盘转轴，吸盘转轴伸出吸盘摆柄连接一吸盘，联杆、吸盘摆柄、吸盘转轴和吸盘上设置有相互连通的真空气道。吸盘在机构的各个电机带动下能够自转、公转、俯仰，形成三种复合球面运动，并且解决了俯仰抖动和大面积吸附问题，可以广泛得到推广和应用。

主权项

1、一种观察硅片表面的运动支撑机构，其特征在于：它包括一竖直设置的、由水平电机通过传动组件带动水平旋转的空心支柱，所述空心支柱的上下两端分别伸出有翼耳，在下端的翼耳上固定有一曲柄电机，所述曲柄电机的输出轴连接一曲柄盘，曲柄盘偏心处通过一转轴连接一空心联杆，所述空心支柱上端伸出的两翼耳间，枢接一吸盘摆柄，所述吸盘摆柄的前端枢接在所述空心联杆的顶部，所述吸盘摆柄的空腔内设置一自转电机，所述自转电机输出端连接一吸盘转轴，所述吸盘转轴伸出所述吸盘摆柄连接一吸盘，所述空心联杆、吸盘摆柄、吸盘转轴和吸盘上设置有相互连通的真空气道，所述真空气道连接一抽真空装置。