[实用新型]一种观察硅片表面的运动支撑机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种硅片检查装置，特别是关于一种观察硅片表面的运动支撑机构。

背景技术

目前在半导体制造业中，许多工艺都需要对硅片外表进行正反两面的检查。目前多采用吸盘方式进行检查，吸盘吸住硅片的背面位置后，在0～90°范围内旋转摆动，这样在特殊光线下就可以观察硅片的外缺损和是否有被污染的颗粒，以及通过观察硅片表面的颜色判断硅片的镀膜厚度(不同颜色对应不同厚度)。但目前市场上相关的吸盘式产品，其结构复杂体积较大，造价高，运动不平稳，且容易在0°和90°的极限点时发生抖动，这些都是设备制造商急于要解决的问题。

发明内容

针对上述问题，本实用新型的目地是提供一种结构简单、平稳可靠的观察硅片表面的运动支撑机构。

为实现上述目的，本实用新型采取以下技术方案：一种观察硅片表面的运动支撑机构，它包括一竖直设置的、由水平电机通过传动组件带动水平旋转的空心支柱，所述空心支柱的上下两端分别伸出有翼耳，在下端的翼耳上固定有一曲柄电机，所述曲柄电机的输出轴连接一曲柄盘，曲柄盘偏心处通过一转轴连接一空心联杆，所述空心支柱上端伸出的两翼耳间，枢接一吸盘摆柄，所述吸盘摆柄的前端枢接在所述空心联杆的顶部，所述吸盘摆柄的空腔内设置一自转电机，所述自转电机输出端连接一吸盘转轴，所述吸盘转轴伸出所述吸盘摆柄连接一吸盘，所述空心联杆、吸盘摆柄、吸盘转轴和吸盘上设置有相互连通的真空气道，所述真空气道连接一抽真空装置。

所述水平电机固定在一工作台架上，所述空心支柱通过轴承座及轴承设置在所述工作台架上。

所述传动组件包括一设置在所述空心支柱上的齿轮和一由所述水平电机带动的另一齿轮，所述两齿轮啮合连接，或者所述两齿轮通过传动带连接。

所述空心支柱下端伸出的翼耳上设置有与所述曲柄盘位置对应的摆位传感器。

所述空心联杆、吸盘摆柄、吸盘转轴和吸盘相互连通处设置有密封件。

本实用新型由于采取以上技术方案，其具有以下优点：1、本实用新型设置一由电机带动水平旋转的空心支柱；支柱上端连接一吸盘摆柄，吸盘摆柄由一连接的曲柄联杆拉拽，使其上下摆动，曲柄联杆下端穿过空心支柱后由一转动的曲柄盘驱动，曲柄盘由一设置在支柱上的曲柄电机带动；吸盘摆柄内设置一自转电机，自转电机通过一吸盘转轴带动一吸盘。当机构的各个电机转动时吸盘就能够自转，同时又能随支柱一起公转，并随吸盘摆柄一起俯仰，形成三种复合运动，此运动轨迹为球面。2、本实用新型由于在曲柄盘上设置有传感器，可以用来感应曲柄联杆的摆动位置，决定是否取放硅片的操作。3、本实用新型在曲柄盘偏心的位置上通过轴承设置一转轴，转轴上连接联杆，当曲柄盘做圆周旋转运动时联杆始终能够竖直上下运动并按正弦曲线规律缓慢加速和停止；确保曲柄联杆带动的吸盘摆柄不会发生抖动。4、本实用新型在吸盘、吸盘转轴、吸盘摆柄、曲柄联杆之间设置连通的空腔，关节处由密封件密封，曲柄联杆空腔底端连接抽真空装置，这样就形成了一个密闭的无软管路连接的真空气道，机构的任何运动都不会影响气路的畅通。本实用新型解决了俯仰抖动的问题和大面积吸附附的问题，因此可以广泛得到推广和应用。

附图说明

图1是本实用新型结构的立体示意图

图2是本实用新型结构的另一角度观察的立体示意图

图3是本实用新型的剖视示意图

图4是本实用新型密闭气道的剖视示意图

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型进行详细的描述。

如图1～3所示，本实用新型包括一固定在工作台1上的水平轴承座2，水平轴承座2内设置一轴承3。一空心的支柱4穿过轴承3，并且上下两端都露出工作台1。在穿出工作台1底面的支柱4上固定套设有一大齿轮5，与大齿轮5啮合设置一小齿轮6，小齿轮6固定在水平电机7的输出端，水平电机7固定在与工作台1连接的支架上(图中未示出)。

上述由两啮合的齿轮组成的传动组件还可以是通过一齿形带连接的两齿轮。

支柱4的底端伸出有一翼耳8，在翼耳8上固定有一曲柄电机9，曲柄电机9的输出轴伸向支柱4的内侧，在输出轴上连接有一曲柄盘10，曲柄盘10偏心处通过轴承连接一横向设置的转轴11，通过转轴11竖直穿设一空心的联杆12，联杆12向上穿出支柱4的空腔(如图3所示)。当曲柄电机9带动曲柄盘10旋转时，转轴11随曲柄盘9一起转动，而因为转轴11通过轴承连接到曲柄盘10上，所以又可以在曲柄盘9上自转，所以可以始终保持联杆12处于竖直方向。与曲柄盘10的位置对应，在翼耳8上还设置有一摆位传感器13。