[实用新型]用于刻蚀硅片的辅助工装无效
| 申请号： | 200820059213.1 | 申请日： | 2008-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN201220964Y | 公开（公告）日： | 2009-04-15 |
| 发明（设计）人： | 郭唯博 | 申请（专利权）人： | 上海太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/24 | 分类号： | C23F1/24;C23F4/00;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 | 代理人： | 杨元焱 |
| 地址： | 201108上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于刻蚀硅片的辅助工装，包括矩形底板和两块矩形立板，两块矩形立板分别连接在矩形底板的相邻两侧边并与相应的侧边平行。采用本实用新型的辅助工装用于刻蚀硅片，可以保证硅片堆叠整齐，边缘平整，有利于游离基与硅材料反应的进行，且表面平整，保证了反应的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 刻蚀 硅片 辅助 工装 | ||
【主权项】：
1、一种用于刻蚀硅片的辅助工装，其特征在于：包括矩形底板和两块矩形立板，两块矩形立板分别连接在矩形底板的相邻两侧边并与相应的侧边平行。
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