[实用新型]用于刻蚀硅片的辅助工装

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种工装，特别涉及一种用于刻蚀硅片的辅助工装。

背景技术

太阳电池作为新兴的清洁可再生能源，因具有直接将太阳能转换为电能，且寿命长、维护简单、可实现无人值守等优势而备受瞩目。太阳能电源系统取得了越来越广泛的应用。

在太阳电池片的制造过程中，掺杂制结完成后必须对N、P区进行隔断，行业内普遍采用等离子体刻蚀的方法，依靠高频辉光放电形成的化学活性游离基与被腐蚀材料发生化学反应，从而达到隔断的目的。相对来说它具有干燥，清洁，工艺简单等优点。在进行该工序时，必须保持硅片堆叠整齐，边缘平整，才能获得均匀的刻蚀效果，否则将有可能引起腐蚀不均匀造成漏电，直接影响电池片效率。但现有技术一般是采用手工对齐的做法，对操作人员的动作熟练度有很大的依赖性，结果往往参差不齐，严重影响了刻蚀效果。

实用新型内容

本实用新型的目的，在于克服上述现有技术存在的问题，提供一种可以使硅片堆叠整齐的用于刻蚀硅片的辅助工装。

本实用新型的目的是这样实现的：一种用于刻蚀硅片的辅助工装，包括矩形底板和两块矩形立板，两块矩形立板分别连接在矩形底板的相邻两侧边并与相应的侧边平行。

所述的两块矩形立板的高度与硅片的高度相当，其中用作硅片的端面挡板的一块矩形立板的宽度略小于所连接的矩形底板侧边的宽度，用作硅片的侧面挡板的一块矩形立板的宽度小于所连接的矩形底板侧边的宽度的一半，并位于远离另一块矩形立板的一端。

采用本实用新型的辅助工装用于刻蚀硅片，可以保证硅片堆叠整齐，边缘平整，有利于游离基与硅材料反应的进行，且表面平整，保证了反应的均匀性。

附图说明

图1是本实用新型用于刻蚀硅片的辅助工装的结构示意图。

具体实施方式

参见图1，本实用新型用于刻蚀硅片的辅助工装，包括矩形底板1和两块矩形立板2、3，两块矩形立板分别连接在矩形底板的相邻两侧边并与相应的侧边平行。两块矩形立板的高度与硅片的高度相当，其中矩形立板2用作硅片的端面挡板，其宽度略小于所连接的矩形底板侧边的宽度，矩形立板3用作硅片的侧面挡板，其宽度小于所连接的矩形底板侧边的宽度的一半，并位于远离矩形立板2的一端。

采用本实用新型的辅助工装能明显提高生产速度和工艺的均匀性、稳定性。表1是不同类型硅片采用同种工艺的性能数据，从数据上看，该工装对电池性能的提高也有一定帮助。

表1

  硅片类型  Uoc  Isc  Rs  Rsh  FF  NCell  不使用工装  0.623394  4.964624  0.004837  24.74855  77.86898  0.162567594  使用工装  0.625342  5.032989  0.004898  75.8928  77.87489  0.163479