[发明专利]多晶硅生产用还原炉的进气口和出气口无效
| 申请号： | 200810249623.7 | 申请日： | 2008-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN101445241A | 公开（公告）日： | 2009-06-03 |
| 发明（设计）人： | 孟启贵;陈光辉;刘新安;王伟文;李建隆;袁红燕 | 申请（专利权）人： | 化学工业第二设计院宁波工程有限公司;青岛科大隆腾科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 青岛高晓专利事务所 | 代理人： | 吴 澄 |
| 地址： | 315040浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种多晶硅生产用还原炉的进气口和出气口。进气口固定安装在底座的底部，伸入炉内底部上面100～300mm，顶部以堵板封堵或在堵板中心开一φ6～φ12的喇叭口。进气口端部侧壁上均布设置3至6个螺旋切向出口。出气口固定安装在外壳顶部的封头上，为均布的5～7管口式结构。进气口为均布的9～16管口式结构，进气口端部的螺旋切向出口的螺旋方向相同或者不同。每个进气口端部内位于螺旋切向出口下面带有2～4个均布的旋流板。旋流板为螺旋状。它可避免上升气柱在底部的扩散，使之与硅棒充分接触。顶部不存在流体死区，硅棒上部硅沉积速度高。气体温度便于调控。加强了炉内气体湍动强化了传质，气体停留时间长，提高了一次性转换率。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 生产 还原 进气口 气口 | ||
【主权项】：
1. 一种多晶硅生产用还原炉的进气口和出气口，进气口固定安装在底座的底部，出气口固定安装在外壳上，其特征在于所说的进气口伸入炉内底部上面100～300mm，顶部以堵板封堵或在堵板中心开一φ6～φ12的喇叭口，伸入炉内的进气口端部侧壁上均布设置3至6个螺旋切向出口，出气口固定安装在外壳顶部的封头上。
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