[发明专利]一种高纯金属硅提纯制备高纯多晶硅的方法及装置有效
申请号: | 200810230804.5 | 申请日: | 2008-11-10 |
公开(公告)号: | CN101428803A | 公开(公告)日: | 2009-05-13 |
发明(设计)人: | 高文秀;赵百通;高永超 | 申请(专利权)人: | 高文秀 |
主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037;C30B29/06 |
代理公司: | 郑州联科专利事务所(普通合伙) | 代理人: | 田小伍 |
地址: | 200000*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种高纯金属硅提纯制备高纯多晶硅的方法,在高纯氩气的保护氛中,以石墨坩埚为正极、设于石墨坩埚中间的竖向石墨电极为负极,在所述石墨坩埚内壁与石墨电极外壁上上下错开设置水平格栅,加热石墨坩埚中的高纯金属硅至1650-1800℃产生硅蒸气,使硅蒸气上行经过格栅后冷却收集得到高纯多晶硅。本发明与传统提纯工艺相比,不仅大幅缩短了提纯工艺流程,而且工艺稳定、效率高,降低了太阳能电池的原料成本,得到的高纯多晶硅纯度稳定、一致性好;提纯设备的制造成本低,生产过程中也无排污,环保效益好。 | ||
搜索关键词: | 一种 高纯 金属硅 提纯 制备 多晶 方法 装置 | ||
【主权项】:
1. 一种高纯金属硅提纯制备高纯多晶硅的方法,其特征在于:在高纯氩气的保护氛中,以石墨坩埚为正极、设于石墨坩埚中间的竖向石墨电极为负极,在所述石墨坩埚内壁与石墨电极外壁上上下错开设置水平格栅,加热石墨坩埚中的高纯金属硅至1650-1800℃产生硅蒸气,使硅蒸气上行经过格栅后冷却收集得到高纯多晶硅。
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