[发明专利]负载锁设计及其使用方法

摘要

本发明提供经揭示用于晶片处理的设备和方法。特定实施例包括将晶片从存储盒转移到处理模块并返回的双晶片处置系统及其各方面。本发明提供堆叠式独立负载锁，其允许排气和抽气操作并行工作且可经优化以减少微粒。本发明还提供环形设计以在负载锁排气和抽气期间产生径向上下流动。

主权项

1. 一种用于在大气环境与真空转移模块之间转移衬底的堆叠式负载锁组合件，其包含：下部负载锁，其具有一个或一个以上腔室，每一腔室具有衬底支撑件和可密封门，所述可密封门可选择性地打开以用于在所述腔室与转移模块机械手之间转移衬底；上部负载锁，其安置在所述下部负载锁上方，所述上部负载锁具有一个或一个以上腔室，每一腔室具有衬底支撑件和可密封门，所述可密封门可选择性地打开以用于在所述腔室与转移模块机械手之间转移晶片；其中所述上部负载锁与所述下部负载锁隔离开，且所述上部与下部衬底转移平面之间的垂直距离不大于100mm。