[发明专利]图像传感器及其制造方法

摘要

一种图像传感器及其制造方法，可以包括：半导体衬底；多个光电二极管，形成在该半导体衬底上和/或上方；第一绝缘层，形成在包括所述多个光电二极管的该半导体衬底上和/或上方；至少一根金属线，形成在该第一绝缘层上和/或上方；具有多个阱的第二绝缘层，形成在所述多个光电二极管上和/或上方；多个滤色镜，通过在所述多个阱中嵌入多个滤色镜层而形成；以及多个微透镜，形成在所述多个滤色镜上和/或上方。

主权项

1. 一种方法，包括以下步骤：提供半导体衬底；然后在该半导体衬底中形成多个光电二极管；然后在包括所述多个光电二极管的该半导体衬底上方形成第一绝缘层；然后在该第一绝缘层上方形成至少一根金属线；然后在包括所述至少一根金属线的该第一绝缘层上方形成第二绝缘层；然后通过蚀刻该第二绝缘层而在所述多个光电二极管上方形成多个阱；然后用滤色镜层填充所述多个阱，以形成多个滤色镜；以及然后在所述多个滤色镜上方形成多个微透镜。