[发明专利]衬底输送装置无效
| 申请号： | 200810176658.2 | 申请日： | 2003-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN101407283A | 公开（公告）日： | 2009-04-15 |
| 发明（设计）人： | 安田守;藤崎畅夫 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | B65G51/03 | 分类号： | B65G51/03;B65G49/06;H01L21/677 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种衬底输送装置，其是从各衬底装载台(1、16)和浮起块(11)上形成的多个空气孔(4、18、12)上吹空气而使玻璃衬底(3)浮起，吸附保持该浮起的玻璃衬底(3)在输送方向C上的前端部两端而进行牵引，同时进行输送。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 输送 装置 | ||
【主权项】：
1、一种衬底输送装置，输送平板显示器制造工艺中所制造的衬底，其特征在于，包括：衬底浮起块，形成为相对于上述衬底的输送方向的垂直方向上的宽度比上述衬底的宽度短，浮起上述衬底；定位单元，设置在上述衬底浮起块上，在浮起了上述衬底的状态下进行定位；以及衬底输送单元，沿上述衬底浮起块可移动地配置，在浮起了由上述定位单元进行了定位的上述衬底的状态下，吸附保持上述衬底的背面并向输送方向输送。
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